特点

   全范围测试
       我们与客户和合作伙伴合作，在平面和可旋转磁控管上进行了工业应用测试。
   稳健
       稳定可靠的放电过程——恒定电压，无不必要的振荡。
   外部触发
       外部触发，可通过主从配置进行控制——多个电源。

   反应过程控制
       可按要求实施反应性HiPIMS过程控制。该功能允许：

   过渡模态中的稳定运行
   保持化学计量成分的反应性气体流量具有较宽的工艺窗口

应用

   定制涂层
   DLC涂层
   ITO涂层
   阻隔涂层
   硬质涂层
   光学涂层
   电气涂层
   3D涂层