西门子变频器故障分析和处理方法

一般来说，当遇到西门子变频器故障时，再上电之前首先要用万用表检查一下整流桥和IGBT模块有没有烧，线路板上有没有明显烧损的痕迹。
　　
　　具体方法是：用万用表(最好是用模拟表)的电阻1K档，黑表棒接变频器的直流端(-)极，用红表棒分别测量变频器的三相输入端和三相输出端的电阻，其阻值应该在5K-10K之间，三相阻值要一样，输出端的阻值比输入端略小一些，并且没有充放电现象。然后，反过来将红表棒接变频器的直流端( )极，黑表棒分别测量变频器三相输入端和三相输出端的电阻，其阻值应该在5K-10K之间，三相阻值要一样，输出端的阻值比输入端略小一些，并且没有充放电现象。否则，说明模块损坏。这时候不能盲目上电，特别是整流桥损坏或线路板上有明显的烧损痕迹的情况下尤其禁止上电，以免造成更大的损失。
　　
　　如果以上测量西门子变频器故障结果表明模块基本没问题，可以上电观察。
　　
　　1、上电后面板显示[F231]或[F002](MM3变频器)，这种故障一般有两种可能。常见的是由于电源驱动板有问题，也有少部分是因为主控板造成的，可以先换一块主控板试一试，否则问题肯定在电源驱动板部分了。
　　
　　2、上电后面板无显示(MM4变频器)，面板下的指示灯[绿灯不亮，黄灯快闪]，这种现象说明整流和开关电源工作基本正常，问题出在开关电源的某一路不正常(整流二极管击穿或开路，可以用万用表测量开关电源的几路整流二极管，很容易发现问题。换一个相应的整流二极管问题就解决了。这种问题一般是二极管的耐压偏低，电源脉动冲击造成的。
　　
　　3、有时显示[F0022,F0001,A0501]不定(MM4)，敲击机壳或动一动面板和主板时而能正常，一般属于接插件的问题，检查一下各部位接插件。也发现有个别机器是因为线路板上的阻容元件质量问题或焊接不良所致。
　　
　　4、上电后显示[-----](MM4)，一般是主控板问题。多数情况下换一块主控板问题就解决了，一般是因为外围控制线路有强电干扰造成主控板某些元件(如帖片电容、电阻等)损坏所至，或与主控板散热不好也有一定的关系。但也有个别问题出在电源板上。
　　
　　5、上电后显示正常，一运行即显示过流。[F0001](MM4)[F002](MM3)即使空载也一样，一般这种现象说明IGBT模块损坏或驱动板有问题，需更换IGBT模块并仔细检查驱动部分后才能再次上电，不然可能因为驱动板的问题造成IGBT模块再次损坏！这种问题的出现，一般是因为变频器多次过载或电源电压波动较大(特别是偏低)使得变频器脉动电流过大主控板CPU来不及反映并采取保护措施所造成的。
　　
　　总结以上，大的原器件如IGBT功率模块出问题的比例倒是不多，因为一些低端的简单原器件问题和装配问题引发的故障比例较多，如果有图纸和零件，这些问题便不难解决而且费用不高，否则解决这些问题还是不容易的。最简单的办法就是换整块的线路板！

         咨询热线：18150695049
诚信经营，质量为首，诚信至上，鼎晟达竭诚为您服务               
~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~`  
漳州鼎晟达自动化设备有限公司       
 联系人：蓝经理（销售经理）                                         
手机      ：18150695049(微信同步）
QQ        ：2880842794                        
邮箱      ：2880842794@qq.com
传真      ：0596-3119658（请备注林工收）                                         
~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~
*所有备件的质保期均为1年，经过专业测试认证。
*如果您需要订购产品超过1件，请与我们联系，我们可以为您提供折扣。
*我们仅采用快递方式递送备件。（顺丰）
*如果您发现其他供货商为相同产品提供更为低廉的价格，我们也愿意参照其价格向您提供进一步的折扣。如果还有其他任何问题，请随时与我们联系。
*请让我们知道您有任何，备品，备件，的需要，我们可以给您进一步的援助，我们等候您的询盘。
【主营产品】
1：Invensys Foxboro（福克斯波罗）：I/A Series系统，FBM（现场输入/输出模块）顺序控制、梯形逻辑控制、事故追忆处理、数模转换、输入/输出信号处理、数据通信及处理等。

2：Invensys Triconex: 冗余容错控制系统、基于三重模件冗余（TMR）结构的最现代化的容错控制器。

3：Westinghouse（西屋）： OVATION系统、WDPF系统、WEStation系统备件。

4：Rockwell Allen-Bradley: Reliance瑞恩、SLC500/1747/1746、MicroLogix/1761/1763/1762/1766/1764、CompactLogix/1769/1768、Logix5000/1756/1789/1794/1760/1788、PLC-5/1771/1785等。

5：Schneider Modicon（施耐德莫迪康）：Quantum 140系列处理器、控制卡、电源模块等。

6：ABB：工业机器人备件DSQC系列、Bailey INFI 90等。

7：Siemens(西门子)：Siemens MOORE， Siemens Simatic C1，Siemens数控系统等。

8：Motorola（摩托罗拉）：MVME 162、MVME 167、MVME1772、MVME177等系列。

9：XYCOM：I/O 、VME板和处理器等。

10：GE FANUC(GE发那科)：模块、卡件、驱动器等各类备件。

11：Yaskawa（安川）：伺服控制器、伺服马达、伺服驱动器。

12：Bosch Rexroth（博世力士乐）：Indramat，I/O模块,PLC控制器,驱动模块等。

13：Woodward（伍德沃德）：SPC阀位控制器、PEAK150数字控制器。

14:工业机器人系统备件。
AMAT 0226-41896 WELDMENT,INTERCONNECT,CHAMBER C,PROCSS

AMAT 0227-02536 LAMP, ASSY, LAMP AND POWER CABLE

EATON 5990-0018 PCB Data Conversion , 5990-0018-0001--not in original packaging

AMAT 0100-01763 PCB Assembly, DC-DC Converter

AMAT 0200-35861 RF Isolator, Mircowave Clean

ASTI 08-79563-03-800 LITE, BOTTOM PVI TRIPLEX ??ON

AMAT 0050-36402 LINE, WF6/NF3 WCHAM. C, RCWY

NORCIMBUS A8NN NORCIMBUS A8NN HIGH PRESSURE MANIFOLD

AMAT 0225-97587 WELDMENT,N2 PURGE,4/6,31",NUPRO

AMAT 03-81804-00 PCB, RELAY ISOLATION

Scientech 96005-35 LEAK DETECTOR CONTROL NO, LCK-1000

AMAT 3620-00315 PUMP Vacuum/Compressor Piston

AMAT 0190-11141 CABLE ASSY, SIGNAL, KAWASAKI WR, 300MM D

ALLEN-BRADLEY BULLETIN-836 PRESSURE SWITCH

CAT 700902021 CONTROL PANEL INDICAT. ALARM 0A11 HBLS0

AMAT 50517600001 "TFT 15"" Mechanical"

RITE TRACK 13-51262-01 ARC,PRIMARY,200 MM.DEV 90SE

AMAT 0190-01843 DNET 3U MIXED I/O Board Engineering SPEC

EBARA C-3224-026-0001 lift stage

DNS 2-39-52300 VALCOM C37GI-SR1 SENSOR, PRESSURE VAPOR PRIME

AMAT 0224-43951 BKT,TEOS UPPER LINE SUPPORT,INTEL 0223

AMAT 0040-94301 LEAD-SHIELDING

TEL MBE280-000001-16 PCB, E2B101-16 PPC

AMAT 0225-09107 INTERLOCK ASSY,RF MATCH

POWER-ONE HP5F2F2KS233 POWER SUPPLY 2V 300A, INPUT: 50-60HZ, AC VOLTS: 200-250V,

EDWARDS A55001047 EDWARDS 235MM PIPE HEATER

AMAT 0050-03684 Gasline, Spool, Pushgas to Ampule, 2195

BUCHANAN RS-I-30-100-360-T1-M-K-L-G1-SP ACTUATOR, THETA AXIS SMARTRACK

CKD VALVE AMD512-25BUS-20-0-4E AIR VALVE

MAXON RE025-055-35EBA201A DC SERVO MOTOR + TACHO 5.2:1

PERKIN-ELMER 690-8283-003 PERKIN-ELMER A208 STEP MOTOR P.E. PCB ASSY

MBC PC6062 MBC PARALLEL I/O

AMAT 0100-90975 PCB H1 Ground PDU Mother Board

INSULATOR SEAL INC. 9312021 HIGH VAC Thermocouple port

ASCO 8344G370 VALVE,SOLENOID

AMAT 0020-03268 BLANKING PLATE

AMAT 0020-26158 Clamp Ring 6" JMF ACAM

AMAT 0020-31820 Plate, Gas Distribution 133 Hole

AMAT 0020-35313 Lower Lift Shaft

AMAT 0020-42938 Blade Robot

AMAT 0020-54074 0020-54074..CLAMP, WAFER ARM TO SHAFT

AMAT 0021-37702 SIDE RECEIVER, RIGHT 200MM, 316-EP

AMAT 0021-76731 Blade Robot

AMAT 0040-62420 0040-62420..CAP, LID, 200MM ALD TAN

AMAT 0040-82938 STAGE, LINEAR AIR BEARING

AMAT 0100-01887 Scan Optimization PCB

AMAT 0100-09022 PCB ASSY, MINI AI/AO

AMAT 0100-09174 Assembly Teos Gas Interface Board

TEL 017-004531-1 BELLOWS

AMAT 0200-03280 SHADOW RING 150MM JMF NCSR 3.0MM EE

AMAT 0200-09872 Ring, Clamp, Ceramic, 150mm, 147mm

AMAT 0200-40175 COVER RING 150MM JMF NON-CONTACT

AMAT 0242-38340 AUTOMATED LOAD LOCK, COR-RES RETROFIT KI

NOVELLUS 04-708629-02 PCB DUAL BEAM OPTICAL SENSOR

AMAT 0660-00559 ASSY, PCB, NEW POWER BRIDGEPORT 9010

Novellus 10-109894-00 TUBE ASSY,MANF,N2 PRG,N2

AMAT 1080-01314 ENCODER HEAD 1UM DIGITAL

TEL 1386-443510-13 0610DB13BAABN MOTOR, M/A Y AXIS, 100W, 3000RPM, 1000PPR

AMAT 1410-01583 HTR JKT 30 MIL B LAYER PLIS USG ZONE 5 C

SEN CORPORATION 17G9605 APERTURE, (2)

ENTEGRIS 6500-T8-F06-D30-A-P1-U1-M02 Integrated Flow Controller; Back Pressure R

AMAT 676107 w PCB, PROGRAMMABLE CTRL

Opal 70513580000 BOARD ASSY ILLUMINATION Opal

LAM 716-018527-404 PLATE WAFER CLAMP 8

LAM 839-020965-005 Assembly, Outer, .18 Step, 300M

CAT 851-8554-003 PCB SBX/STD BUS

HUNTINGTON A00-1545 VALVE REACTOR ISO ASM EPI

HITACHI D4CX05038 PANASONIC AMKB200B10LAK AC SERVO MOTOR; 100V 200W 0.637-N-M 30

GSI END EFFECTOR FOR CYBEQ END EFFECTOR CYBEQ

TIV FI-7155A,B MX-52E-050-L92J1 FLOWMETER, FI-7155A,B MX-52E-050-L92J1

BALDOR BS/M63A-275AA SERVOMOTOR with gear reduction; BS/M63A-275AA B025/0343 S1P

LAM RESEARCH Kit, PM, LAM 9400, Quarterly, EXT LL with DSQ Stripper-

KOBE STEEL LTD P-FC61-001-02 VALVE Thermostatic , TEMP CONTROL,1 1/22EFCF12001

SVG THERMCO SYSTEMS 601628-01 Automation Controller

SVG THERMCO SYSTEMS 602058-01 Process Adapter Board

H-SQUARE FFTB2MA AUTOMATIC FLAT FINDER

AMAT 0190-13274 SEAT, ANODIZED ALUMINUM, 35MM X 381MM

LITTLE GIANT PUMP COMPANY TE-7-MD-CK Pump MagDrive PolyPro;Marathon Electric 3/4

MITSUBISHI AJ71UC24 PROGRAMMABLE CONTROLLER

FAS Technologies FAS-1S Photo-250 Controller, 120 VAC, 2 AMP, 50/60Hz (Repaired)

MITSUBISHI K/LP40W 0.75 Pump Centrifugal 46 GPM 3600RPM, 440V, 1.5A

DENKI KEIKI TTA-2KL 2kVA 3-PHASE 440V TRANSFORMER, 50/60HZ, R200-105V LOOKS NEW

AMAT 0050-36396 Line, S1H4, WCHAM. C, RCWY

AMAT 0021-04905 SHIELD, SHAFT SRD, ECP

TEL ES3D10-200330-12 RING, FOCUS PM 4.0

SIEMENS 6ES5-464-8MC11 ANALOG INPUT MODULE AIR PROD. GAS CABINEt

AMAT 0020-21703 LIFTER 5"

AMAT 0200-02700 ADAPTER INSULATOR, EXTERNAL CERAMIC, 200

AMAT 0020-22695 HONEYCOMB COLLIMATOR 1/2 HEX, 1.5:1 8"

AMAT 70210229400 OPAL 702 VCR CPU BOARD, VACUUM CPU

TEL ES012-004476-1 Valve, Air OPR..6L-M4V-222-II

AMAT 0140-00769 HARN. ASSY., DCELL B DIGITAL PNEU.

AMAT 0040-95059 INST Heatsink CTD 125-0 ENLGD

NOVELLUS 40-00214 BOXER CROSS INC ASSY, MAIN DETECTOR

AMAT 9150-01180 CA ST4 5 Color (Red, Yellow, Green, Orange) Signal Tower, 24V AC

ASM 830003452 MAXON MOTOR F2260+GEAR GP62 35:1+TACHO

AMAT 0040-94638 ASSY-GASLINE,INSULATED,3VAPO.

AMAT 0100-91128 PWB Assembly GND PDU M/Board

DNS 2-39-64983 WAFER, GUIDE IF HAND FDR SK2000

AMAT 0020-11780 *INSULATOR,30KV,OUTER

LAM 12-8875-050 Assembly, Heat Lamp Sensor, CE95

MILLIPORE CBUZ3L0S1 FILTER

INTEL M-B L440GX PCB, SERVER BOARD S5000P SL

AMAT 0021-26635 TUBE, NICKEL LIFT

AMAT 0100-09283 PCB ASSY,STEPPER DRIVER INTERFACE

AXCELIS 477974-D PLATE, BAFFLE ES3 LOWER QUART

Applied Materials 0020-06142 Arm Left Hand Shuttle

AMAT 0100-90855 PWBA SPIN SCAN I/L NONVA **

AMAT 0200-35050 INSERT,QTZ,INJECT, POLY

AMAT 0050-09399 TUNGSTEN GAS LINE 2, WELDMENT, CHAMBER B

ECKARDT PIC7-2 TRANSDUCER MEASURING PNEUMATIC

AMAT 0225-02460 Clip Assembly, Upper 150MM Special, Machined

TYLAN FC-261-02 MASS FLOW CONTROLER, GAS O2, MFC O2 2L INJ1

TYLAN FC-261-O2 MASS FLOW CONTROLLER, 150 PSIG MAX, GAS O2

AMAT 0050-76233 GAS LINE CHAM 2 WIDE BODY (HEATER)

AMAT 0190-03148 SWITCH, WATER 3/8" HOSE/W ANALOG OUT 2 G

LAM 60-121857-00 GATE,50MM X 336MM,VITON,AL

AMAT 1270-00271 Chemtec 125-T Flow Switch Teflon 100 mil/m

IBM 57F2705 PC BOARD CONTROL INTERFACE

AMAT 0050-30632 WELDMENT,UPPER GAS LINE,STD CH A

Kokusai 4QDK565196 SEAL,CAP,5.5MM

GSI 6050066 CW50 Laser Control PCB

AMAT 0020-21479 Clamping Ring 6" TIW Semi Major Flat

SAN LAB SYSTEMS VHSLS1049 1.5 INCH DIA 70MM SNAP; SLS 1042, PRECISION SNAP CAP H

AMAT 0050-41065 GAS LINE SLD LIQ SOURCE TEPO GPLIS III P

AMAT 0140-01775 HARNESS ASSY, MAINFRAME SENSORS 2

AMAT 0190-13915 DRIVER/CONTROLLER, POWER CABLE 90 DEG, V

AMAT 0190-13920 DRIVER/CONTROLLER, POWER CABLE (2), VERS

AMAT 0040-94472 CLAMP, 2.2 DIA RH FILA- MENT

AMAT 0150-93064 C/A REM PUMP CONN/4B.P3,P16

AMAT 0020-79477 CROSS WHELL

AMAT 0021-77403 FLAG

AMAT 0040-77367 MOUNT PLATE

VARIAN K9234-303 COLD CATHODE VACUUM GAUGE

AMAT 0200-36003 WINDOW,DOOR,300MM ASP

HITACHI 49E0520 Whenelt Assembly

AMAT 26-81588-00 BRKT UPPER BAL CYL

POLY-FLOW EA-113 PCB DISPLAY UNIT P/N EA-113

AMAT 7791-01991 PROXIMITY SENSOR SET, IDE

AMAT 0190-15113 95K CONDENSER LENS APERTURE KIT, INSITE

AMAT 0227-44975 CABLE ASSY, 79FT, COAX SOURCE GENERATOR

AMAT 0020-44740 BLOCK SUPPORT

AMAT 0200-40169 Cover Ring, 200MM SNNF Non-Contact

AXCELIS 1163370 SOURCE ISOLATION VALVE BODY, CARBON

AMAT 0010-A0184 Illumination Module CMP

AMAT 0050-40625 WELDMENT 5RA FINAL VALVE V164 PROD

AMAT 0050-18789 WELDMENT Pump I/C Split Purge FUGIKIN UL

AMAT 0040-90752 SPACER E3

AMAT 0200-10460 CLAMP RING COVER, QUARTZ, 200MM, POLY

AMAT 26-83192-00 DECODER CUP

AMAT 0020-91097 STRESS RING

AMAT 1620176 JIG-ALLIGNMENT FOR

Novellus Systems 04-121001-00 ASSY,SAFETY SNSR,RLL,DLCM-S

ELECTROGLAS 247222-001 PCB LINEAR MOTOR SUBSYSTEM A3 EG2010

CAT 526050071 PCB CONTROL IV-ES BROOKS AUTOMATION

DISCO MOGCL226--BY LOAD/UNLOAD PLATE ROT.ARM MOGCL226 (F18-

LAM RESEARCH 839-13510-1 ASSY ISOLATION VALVE (CHAMBER LAM4500)

SAINT GOBAIN 100-00086-SC 200MM-125 SILICON CARBIDE, BOAT 125 SLOT 200MM

TERADYNE 180155-55 ASSY, GPIB-1014 W/ TERADYNE INTERFACE PCB

LAM 853-190023-001 PCB HD DR IDE W/CONTROLLER

AMAT 0270-00036 Assembly Tool, Z-AXIS Seal Flange

AMAT 0050-26719 GAS LINE, DTLR INLET W/VALVE, CUXZ GAS B

AMAT 0500-01146 CNTRL MODULE 30 I/O

AMAT 26-82540-00 TRAY SUPPORT, POLY

AMAT 0040-91922 MANIFOLD,PIGTAIL DIN 8

AMAT 0140-00644 HARN. ASSY., DCELL A DIGITAL PNEU.

M61 SYSTEMS SB-075 PCB MOTOR DRIVE

TEL MB3M10-204698-11 HOLDER, UPPER SFR 300 LPA

ELECTROGLAS 247216-001 PCB SYSTEM I/O ASSY REV P

MKS 142A-13414 BARATRON ABSOLUTE HEATED VACUUM SWITCH, TEMPERATURE CONTROLLED TO

LEICA 569247 PLAN L5OX/0.60

LAM 810-017049-009 PCB ADIO 9

AMAT 0015-A2440 ELSCINT 73001962-172, Clean ESC Feedthrough

TEL ES1D05-300040-11 RING,INSULATOR,C,(DRM2)

AMAT 0010-25108 Assy, AP Mainframe FIB

AMAT 0020-01627 Ring

AMAT 0020-05025 PIVOT HOUSING-QUANTUM

AMAT 0020-13257 RETAINER RING FOR CHAMBER OVERTEMP SWITC

AMAT 0020-21270 COVER BASE 5" PRECLEAN

AMAT 0020-33033 Drive Plate Extension P5000 MC Robot

AMAT 0020-37765 PANEL, I/O GAS INPUT

AMAT 0020-44739 BLOCK SUPPORT

AMAT 0020-99635 BEAMSTOP, GRAPHITE, LEAP II

AMAT 0021-36191 Pluming Plate

AMAT 0021-38834 CASSETTE SUPPORT EP

AMAT 0040-00192 Front Panel, Arm

AMAT 0040-00318 MANIFOLD WELDMENT GAS M

AMAT 0040-01387 HEATSINK INSERT COATED; 125mm0-DEG

AMAT 0040-03691 Body Vacuum Chuck, MF Robot, 300mm Elect

AMAT 0040-84668 GRIPPER CLAW, UPPER,LH,200MM

AMAT 0040-84669 Gripper Claw, Upper, RH, 200mm

AMAT 0040-84670 0040-84670..GRIPPER CLAW,LOWER,LH,200mm

AMAT 0040-84671 Gripper Claw, Lower, RH, 200mm

AMAT 0050-31976 INTERCONNECT, CH B, PRCS, APTECH, VERIFL

AMAT 0090-A5000 DIV ASSY, 14

AMAT 0100-01838 Q3 DSP HOSTBOARD

AMAT 0100-01938 PWBA DIFF PRESS INTERFACE

AMAT 0100-20416 System Distribution Backplane PCB

AMAT 0200-05358 REFLECTOR, PRIMARY M14-0-2 INSIDE PRODUC

AMAT 0200-10039 Ring, Outer, 3.00", DBL Annulus, SGD*

AMAT 0200-40091 Insert, Quartz, Mark IV Chamber Slit

AMAT 0227-42992 BRACKET, SINGLE VALVE SLD BOX

AMAT 0227-46414 WELDMENT, CHAMBER LINE B, PORT 2

AMAT 0227-46930 Pressure Xducer, Range: 0-100PSI, Display Model: NPS7200

AMAT 0240-61368ITL KIT INTEGRATION FIBER OPTICS

NOVELLUS 04-730737-01 SHIELD,HTR,SUPPORT

AMAT 0500-00293 Pump- Mount is Controller

AMAT 0620-02039 CA Ion Gauge G. Phillips 25 Ft.

AMAT 0870-01043 EJCTR VACUUM 1/4T X 1/4T SST

AMAT 0900-00054 3PH FILTER,75A,FN258P-75/34

NOVELLUS 10-155415-00 GAS DISTRIBUTION MANIFOLD

VERTEQ 1066519-1 DISPLAY CNTRL BOARD

TEL 1102-400138-11 ORIENTAL MOTOR A4303-9015HGE; VEXTA STEPPING MOTOR, 5-PHASE

SHIN-ETSU 1105-101207-51 QUARTZ BOAT; SE-330-4X2-12K TEL ALPHA8

TEL 1105-302235-51 Outer Tube TEL Alpha8 Quartz

TEL 1110-207184-11 RING, HOLDER QUARTZ SUS304

AMAT 1120-00224 Optical Filter Bandpass 337NM-CW/L FWHM 2.0N

AMAT 1120-00225 FLTR OPTIC BANDPASS 391NM-CW/L FWHM 2.0N

HITACHI 114130 Bath Quartz cascade dual 200mm

AMAT 1310041 B803253-G ACS VME BOARD

AMAT 1410-01391 Heater Jacket, 30 MIL B Layer Upper Zone 1 CHAM, 45V, 41W

SCHUMACHER 1442-0101P SOURCE TEMPERATURE CONTROL SYSTEM MODEL 100, TCU-100, 50/6

SEN CORPORATION 15S0224 BOARD, STANDARD BUS NC PPD 2A

AVIZA 161377-001 FLANGE VAC SW TEOS VTR7000

NOVELLUS 17-133152-00 SHIELD,ADAPTOR,HCM

AXCELIS 17138590 Support Shield

SEN CORPORATION 17C2929 Shield Housing SS

SEN CORPORATION 17D2427 PLATE, STRIKE

AMAT 18008230 BLANK,OFF FLANGED 7

TEL 1810-329078-11 COVER, SCREW A-AL-Y SCCM

TEL 1810-329079-11 COVER, SCREW B-AL-Y SCCM

AMAT 1951865 OCR/BCR MONITOR

SHIN-ETSU 2105-120843-51 QUARTZ BOAT; SE-330-7X2-04K TEL ALPHA8

TEL 2105-220704-51 Boat 200mm QUARTZ, VARIABLE FIN PEDESTAL Alpha 8

PMS 2501244-01 RING, SUSPENSION LINER LPC

AMAT 26-83600-00 Gear Box Housing Assembly

VAT 26434-KA01-0001/0144 VALVE, HV ANGLE KF 50 90deg

FSI INTERNATIONAL 290023-200 OPERATOR KEYPAD

FSI INTERNATIONAL 290077-400 ASSY PC 2800 CPU

FSI INTERNATIONAL 290078-200 FLOW CONTROLL COMPL

FSI 290168-400 PCB,MERCURY,INTERFACE,BOARD,SMALL

CANON INC 2F7-8014-000 PCA.COM.2CH.RS-232 SERIAL B/D

HITACHI 3-833468-01 GAP OUTER COVER

HITACHI 3-833469-01 GAP INNER COVER

HITACHI HIGH-TECH FIELDING 3-838183-01 Ring, Gas Inlet

AMAT 3310-01168 GAUGE CONVECTRON 275 MINI DUAL RELAYS W/DISPLAY

NOVELLUS 372-72361-1 CARRIER SHAFT (OXIDE)

TEL 3M12-014301-11 Valve, Solenoid Manifold Block, 120 VQ1131Y-5B-M5-X10 Pressur

AMAT 4060-00547 MANIFOLD HELIUM UPPER RETURN

FSI 407156-002 SHAFT, DRIVE TI-CYLINDER

PLASMATHERM 4113005244010 WAFER ARM OUTPUT/INPUT 125 MM

AXCELIS 4700-0064-0002 Motor, Tilt, Sen Electrode 530E0126

DNS 5-F1-06040 QUARTZ BATH cascade inner 200mm dual

DNS 5-F2-06515 PLATE, DRAIN V/D QUARTZ

AMAT 5608-0036 RING, CERAMIC TOP 30 MICRON CONCAVE

GENERIC 5882-0090-0002 plate

NOVELLUS 60-137364-00 VALVE,PNEU,RTANG,KF50,LOPRO

AMAT 600404 Transformer

AMAT 602597 MFC 100 SCCM 550A PH, wAFC, 12N2

SVG 681-0116-085 PCB EXTENDED MEMORY

DNS 7-39-52585 Air Cylinder, SWING Koganei SDA40X100-N-45

SNT JAPAN 716-012503-001 QUARTZ PLATE

LSP QUARTZ 7322-163-8256 CERAMIC FOCUS RING 125 MM LAAG

TEL 810-220689-1 PLATE, BAFFLE Unity

LAM 856-030996-001 KIT, HEATER, GAP BARREL

LAM RESEARCH 859-0928-007 PCB POWER AMP

ASML 859-3790-003 Actuator Assembly

SCP GLOBAL 8955764A-00 TANK,PVDF,19 GAL,STATIC PREFILL

AMAT 9010-01384 Pneumatic Panel, Gripper

FTL/A.L.M.T AD100E151 DRESSER, 270D

CKD AMD42-20BUS-16 VALVE, AIR OPERATION, MAIN 0-0.4MPa, OPERATE 0.3-0.5MPa, ORIF

ADVANTEC AT03 TRAP, WATER COOLING

SOJITZ PLA-NET CORPORATION CEP099-AEL1410 BOARD, W/BATTERY MITY

SHIN-ETSU D1DK-44792 QUARTZ BOAT TEL ALPHA8

SHIN-ETSU D1DK-59590 OUTER TUBE QUARTZ TEL ALPHA8

SHIN-ETSU D1DK-79865 QUARTZ BOAT; TEL ALPHA8

HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC D2CM24747 PIPE, EXHAUST 1C

HITACHI D3VK28666(NO-NC-NC) VALVE 316 SS, AIR-OPERATE, 3VALVE-5WAY

PURERON DFS 3-1200 SWITCH, FLOW DIGITAL 316 SS, PRESS MAX 0.7MPa

DENSEI-LAMBDA DL5107-600J 5107 600V UNINTERRUPTIBLE POWER SUPPLY

VARIAN E11001574 PLATE Chuck

GENERIC H1100353 Thermocouple ASSy High Temp

SHIN-ETSU JS-27-253 OUTER TUBE QUARTZ TEL ALPHA8

SHIN-ETSU JS-37-589-003 INNER TUBE QUARTZ TEL ALPHA8

Fairchild T7900-00502O0P High Flow Microprocessor EP, I/P Pressure Transducer, 0

AOKI SEIMITSU KOGYO CO.,LTD PN074-200-71-3470 MOTOR 3 PHASE INDUCTION W-90 Deg R

CAT SAB0804 TEMPERATURE CONTROLLER

MILLIPORE SI3M034R5 FILTER Housing 316 SS - .05UM SEAL GAS

SEIKO SEIKI STP-300 Pump Body

ORIENTAL MOTOR UDK5107NW2 ORIENTAL MOTOR COMPANY 5-PHASE DRIVER

SCHUMACHER VAP-VS4 Kit, Solid Source Vaporizar Retrofit System

TELEDYNE HASTINGS INSTRUMENTS VT-6X-01-01-00 Hastings GAUGE, VT-6 TORR 0-1 VDC,

Millipore YY4612170 Chemgard PFA ; 12" Bowl 1/4" Buttweld Drain; 3/4" Buttweld I

Lam Research 11061-1-8 9/90 RF MT Chamber Bypass

THERMA-PROCESSOR 14-010064 PCB Assembly, Analog Prcr, ASP Opitiprobe

LEYBOLD 20080729 DRYVC Control Unit; 200-80-729

TOKYO ELECTRON (TEL) 208-500102-3 SLAVE CPU PCB 8085 EXPANDED MEMORY, 55-1241-

Lambda Physik 26286027 Laser Rear Optics Module; Component for: NovaLine K2010

GRANVILLE-PHILIPS 360121 STABIL-ION Guage High Performance ionization

KLA-TENCOR 432-06045-000 STAGE, ELEVATOR LIMIT SWITCH FEEDTHRU

Fisons 51301300 Power Supply, AC Power Distribution, 208 VAC, 50/60Hz Kevex Semi

Fisons Instruments 51301310 PCB Kevex Semicron

Kevex Semicron 51301350 Wafer Cassette Rotation Assembly 125-200mm

THERMA-WAVE 65-005455 OPTICAL PROBE, FINAL TURNING MIRROR

AMAT 70412575100 PCB, Opal 7830i

AMAT 70417890100 PCB, SMC-Micro Board, Opal 7830i

TELRAD 76-110-2800 PRI-24 BOARD

LTX 865-5199-05 PCB PRDZ2

LTX 865-5936-02 PCB BIT3 MULTIBUS (TPA)

FSI INTERNATIONAL 905516001C MOTOR SPEED CONTROL ASSY

AIRFLOTEK 94-0000-0001-00 with AeroBar Model 5225; 29Z99X2Z1E2, 907-343-001, ECO

MICRO SLIDES ANO-40055 200mm X/Y Stage MICRO SLIDES: ANO-40055 with Pacific Prec

GF Fanuc IC610CHS114A Controller, Programmable Assembly PLC 2 input 2 output m

HPS LPV-25-S5-CLVS Valve, Vacuum Assembly HPS slow start came from OPAL 7830i

Raytek RAYT4BTLT Controller, Temperature Sensor; Thermalert IV

Ultra Clean Technology UC-03-16407-00 Control Box GAS

MKS V2-100-AM-VST-CLVNH GATE VALVE 2-STAGE SOFT START VALVE RIGHT ANGLE MF100 L

AMAT 0200-01833 COVER COLUMNAR 300MM

AMAT 0200-40108 COVER PLATE 200MM 1/4" THK E-CHUCK

KULICKE AND SOFFA 08001-4073-000-04 VME STEPPER

Tokyo Electron (TEL) 118100054014 PCB Base, MDIF

TOKYO RIKOSHA 129811 10KVA, 200/100V, 50-60 Hz, PRI. V. 200, SEC. V. 100, MAX KV

SCHUMACHER 1491-1500Q TEOS TRANS/SOURCE CONTROL MOD

SEN CORPORATION 15S0514 BOARD, CONTROLLER CPU MACO-ROBO

SCREEN 7-39-04949 AC SERVO MOTOR; YASKAWA ELECTRIC USAREM-03DE2KX

YOKOGAWA FIELD ENGINEERING SERVICE 810-L017030-005-REFURB PCB,GAS PANEL

Huntington A00-1545-A Kit, Isolation Valve Repair, ASM EPI

Huntington A00-1545-A Kit, Isolation Valve Repair, ASM EPI

MFM BDC4000X-2678 Servo Motor CONTROLLER, WAFER SPINDLE

DAIFUKU BFV5015D92 LM INVERTER; VF-D(DFK)-2

Canon BG4-8193 RC-LB PCB Repaired, BH8-1767-01

KOKUSAI ELECTRIC DN-130L PROTECTOR, OVERHEAT

MITSUBISHI K/LP50W1.5 PUMP Centrifugal 65 GPM, 3600 rpm; 440V; 60HZ; 1.6KW,

CAT TB 1-50-LH2-B Centrifugal HP Blower PVC w/MOTOR, 800Pa, 0.2kW, 4100 MIN TB 1

MOTOROLA 4022.437.33301 PCB, MVME 147S-1, CPU 68K VM647 see pic 2,

AMAT 4060-00008 Controller

LAM 810-17012-002 PCB, HEARTBEAT

Canon BG4-4908 XY Preamp Y

TERADYNE INC CKA 69016H THREE PHASE COMMUTATOR

Summit GX500U-6002 Power Supply Assembly, Input: 115/230V~ 50/60Hz, 770W

PILLAR PSE2MS1006 Bellows Pump Teflon--not in original packaging

ETS PVU-S20-SNPW12-T-FM30 Flow Controller PFA Teflon30kg/cm^2 Gop A 3kg--not in

Millipore INGEN2PS1 SUPPLY,power,ISOLATED,I-LINE/DCT

Applied Materials (AMAT) 0021-23509 MANIFOLD, LID, 200MM, TAN-ALD

BROOKS INSTRUMENT BM35708 READER, BAR CODE

CAT A93837A01 ELEMENT ASSY - UNDER/TABLE HEATER FOR ND6200

GOULD 1005371203 IMPELLER 53970 105-537 CF-8M DIA.11 3/8 NO.101 R1005371203

AMAT 0150-21132 CABLE ASSY, CRYO TEMP INTCNT--35FT

Rosemount 396R-10-21-54 SENSOR,

LAM 853-370015-008 ASSY,CA,COAX,RG214,N-TYPE,276"

AMAT 0040-80090 Toxic Exhaust Manifold

Applied Materials (AMAT) 0020-21707 8 Inch wafer hoop, Lifter Endure, PVD sputte

Agilent HP Keysight 8756A SCALAR NETWORK ANALYZER, SERIAL NUMBER 2421A01226, OPT

JDS UNIPHASE SA-Z000118 SC SERIES FIBER OPTIC SWITCH, MODEL SA-Z000118, SERIAL N

BLUE M P0M-16VC-2 OVEN , SERIAL NUMBER PV-113, 13A, 500 Deg. F

KOKUSAI 4RDK220445 REACTOR TUBE / D4CK22044

EBM Papst 317266-001 RadiPac Centrigual Fan Filter Unit (FFU),FAN

FSI 255413-001 PRE-ALIGN,MECHANISM,ASSY

AMAT 0226-96762 HARNESS AMPULE REFILLABLE LEVEL SENSORS

ASML 8790318001 ASSY,SLIT,SEGMENTED,ADJ

AMAT 0020-23479 PLATE MNTG PNEUM CYL/MTR LFT

MEGATEST Cart Aligner Precision Alignment Cart

AMAT 0021-02983 SHIELD, INNER

AMAT 0090-03661 ASSY, ELECTRONICS RACK, APC ENDURA 200MM

INFICON 352-002 Inficon AG, FL-9496 Balzers, ITR 100, Ion Gauge Transmitter and

Systems Chemistry-Air Liquide 213-47 1 FACING TOOL

AMAT 70317884100 BOARD ASSY SMC/M RS232

NOVELLUS 02-160346-01 OBSOLETE,USE 02-256425-01

AMAT 0090-76193 CVD 5000 PREFAB HARNESS

TESCOM 44-2862-R91-074 Purge Regulator, Maximum Inlet Pressure: 210 BAR

AMAT 0200-40120 SPACER, ESC 200 MM

AXCELIS 6194100 DUMP, BEAM CHAMBER 110 DEG

AMAT 3160-00140 BLANKER BLANK, UPPER

AMAT 3160-00141 COLUMN BLANK, CONDENSOR LENS BLANK COVER

VEXTA UPD599H-B DRIVER, 1.0 OHM PULSE, MOTOR/ WITH CONTROLLER

AMAT 0660-01851 CARD ANALOG I/O DNET MODULE 2AI/2AO DB44 INT PWR

AMAT 1080-01274 MOTOR DC DIST PNL INTEG (SPARE FOR

AMAT 0140-35219 H/A,TOP,LAMP POWER

AMAT 30718647000 CK FCO 959, SW V12.10.1

AMAT 0140-90622 CABLE 8AP6/9FP1

SEZ A1SJ71QBR11 Net work card

Varian-EATON 5990-0010 Shutter Beam Interface--not in original packaging

AMAT 0020-10813 PLATE DISTRIBUTION EB

ASM 2608545-01 FLANGE, NG PUMPING (F1)

AMAT 0226-45000 KIT, TURBO PUMP SEIKO SEIKI

ALPHA MOISTURE SYSTEMS G2-SR-NEE DEWPOINT INDIC. - ALARM G2

AMAT 30612326000 FLASH LIGHT ASSY

EBARA C-4110-249-0001 BRUSH for DRESSER

AMAT 0021-11186 LINER, EXHAUST, NI PLATED, 200MM TICL4

AMAT 9150-00606 CA #RF15M1 3X6B.P1/3X20B.S1

VARIAN E17191540 PICK SHUTTLE 200MM RIGHT

AMAT 0226-09006 75 FOOT RF COAXIAL Cable

AMAT 0010-76765 ASSY, OTF EMITTER, 200MM BANK

VARIAN D-H0135001 PCB ASSY D.P. INTERFACE & DC DRIVERS

TERADYNE 879-779-00 TERADYNE AD779A SMEM PCB

VAT 022-00-0080-1-3C VALVE, V62

LAM 5ANF8-358 LAM FLAT FINDER RECIF

LEITZ 569234 NPL FLUOTAR 20X/0.45 DF Lens

AMAT 1400-98005 ULTRASONIC DISTANCE MEASURING SENSOR; 60-400mm

AMAT 0040-97472 HOOD,GAS BODYWORK,80KV CABINET