精量电子 - 美国MEAS传感器的气体流量传感器基于热膜技术
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气体流量传感器
精量电子 - 美国MEAS传感器的气体流量传感器基于热膜技术，根据薄膜热量的流失测量气体流量。热膜被置于薄而坚固的基板上，因此灵敏度高，响应速度快，并且耐用。
气体流量传感器主要应用于内燃机，医疗，工业的气体流量测量，可按客户要求定制。
MEAS的气体流量传感元件由快速响应的镍热膜和氮化硅基板组成，以确保传感器的高灵敏度和快速响应速度。传感器适合汽车行业的应用。芯片还包括一个用于补偿环境温度的参考传感器，由与热膜相同材料的镍电阻薄膜制成。
